Qualifizierungs-Tools

• Vollständiger Tool-Lebenszyklus (Design, Bau, Qualifizierung, Wartung)
• Reinraumtaugliches Design
• Geringe Partikelerzeugung
• Präzise Druckmessung
• Präzise Abstandsmessung
• Durchflusskontrolle
• Sicherheitsbestimmungen (CE, Semi S2)
• Labview-Programmierung, Datenerfassung und Berichterstellung
• Entwurf der Mensch-Maschine-Schnittstelle

Der Versuchsaufbau befindet sich in einem speziellen Abflussschrank, um die Partikelerzeugung im Arbeitsbereich zu begrenzen. Die Luft, die zur Anwendung des Deltadrucks verwendet wird, ist gefiltert (<10 nm). Alle Materialien und beweglichen Teile sind so konzipiert, dass keine Partikel auf das Produkt gelangen. Der Luftstrom und das Steuersystem sind so ausgelegt, dass Deltadrücke mit einer Genauigkeit von <1 Pa erzeugt werden. Das Labview-Betriebssystem ermöglicht dem Bediener die Durchführung von Standardtests und dem Verfahrenstechniker die Definition von Testrezepten. Das Gerät ist mit einem Validierungssystem für Diagnosegeräte ausgestattet.

Andere in der Lösung verwendete Kompetenzen:

• Sicherheitsvorschriften (CSA)